场发射扫描电子显微镜 日立SU8010
来样须知:
1. 扫描电镜不能做磁性样品,样品中不得含有铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni);
2. 样品不得具有磁性,并且不易被磁化;
3. 样品中不得含有水分,如果是胶体溶液,可事先将液体滴在硅片或锡箔纸或载玻片上干燥后待测;
4. 块状样品高度小于10mm,直径(或最大边长)小于25mm;
5. 多孔类或易潮解的样品,请提前真空干燥处理;
6. 生物样品请自行预处理、干燥;
7. 样品应具有导电性。若样品不导电,需要进行镀金处理。
性能指标:
分辨率:1.0nm (15 kV); 1.4nm(1 kV, WD = 1.5mm, 减速模式);2.0nm (1 kV, WD = 1.5mm, 普通模式)
放大倍数:30倍-800,000倍;电子枪:冷阴极场发射电子源 ; 加速电压:0.5-30kV (0.1KV/步,可变,普通模式)
样品台: X: 0-50mm Y: 0-50mm, Z:1.5-30mm, T: -5-70°,R:360°, 样品尺寸最大直径:100mm(标准)
信号选择:二次电子模式和背散射模式,X射线信号,辅助信号
主要应用:
利用SU8010可进行:(1)形貌分析,通过形貌像可以对样品的形貌、粒径、分散性进行表征,可用于金属材料、薄膜材料、半导体材料、陶瓷材料、生物组织形貌像的观察,同时还可对材料断口和失效进行分析(2)微区成分分析,通过对样品微区、亚微区成分进行分析定性、定量分析,可确定样品的组成。